アプリケーション

膜厚測定

オーシャンオプティクスは、半導体、産業、医療および消費者市場のアプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するためのモジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。顧客は、シリコンウェーハの厚さを測定し、マスク用のフォトレジスト層を判断し、コーティングの硬度および摩耗を試験するためのシステムを構成しています。数量の多いOEMアプリケーション向けコンポーネントも利用できます。

薄膜計測機器は操作が難しい複雑なシステムから、シンプルながらパワフルで柔軟なインターフェースを提供する、今日の小型で実用的なツールにまで進化しました。これらのデバイスは、真空紫外から赤外までをカバーし、分光技術を幅広いアプリケーションに役立てるレベルの精度と再現性を実現します。

構成例

近赤外反射測定構成例

測定画面

基板上の薄膜はエタロンとして機能し、反射で見た場合に表面反射率に重畳する干渉パターンを生成します。パターンの正弦波ピークの間隔は、材料の屈折率と組み合わされたときに、材料の厚さの計算に使用することができます。 弊社のソフトウェアで取得したスペクトルは、薄膜基材の層内の光学干渉によって引き起こされる振動を明確にします。最小値または最大値の波長位置の分析は、薄膜(既知の膜の屈折率を有する)の厚さまたはその屈折率(既知の膜厚を有する)のいずれかを判定可能です。サンプルの厚さは均一でない場合がありますのでフィルム上のいくつかの場所を測定することをお勧めします。

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