アプリケーション

プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等 プラズマモニタに最適!
オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内のプラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に最適です。

プラズマモニタは、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルのHR4000またはバッファリング対応UV高感度モデル OCEAN HDX等の分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。半導体製造装置への組み込み等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。

エッチング・スパッタ・CVDなどにおいての、プロセス中のプラズマ発光のリアルタイムでのモニタリングに最適

  • ■ 広帯域のスペクトル測定に対応
  • ■ 高い波長分解能
  • ■ 光ファイバでの簡易接続
  • ■ ユーザフレンドリなソフトウェアOPwave+(カスタマイズ可能)

測定画面

※画像は、クリックで拡大します。

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アルゴンプラズマに水素を加えて変化したスペクトル特性

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真空チャンバ測定窓から測定したアルゴンプラズマの発光スペクトル

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シースガス添加前に真空チャンバで測定したアルゴンプラズマ発光

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シースガス添加後、400nm以下、~520nmで
明らかに変化したアルゴン発光特性

ファイバマルチチャンネル分光器ラインナップ

Flame分光器は、PCインタフェースにUSBを採用しプラグアンドプレイを実現した、小型で低価格のファイバ入力式マルチチャンネル分光器です。Flameは、Ocean Optics社の既存モデルUSB2000+、USB4000の使いやすさはそのままに、安定性や利便性を高めた次世代スタンダードモデルです。
HR4000分光器は、焦点距離を延長することで波長分解能が大幅に向上した高分解能マルチチャンネル分光器です。線幅の狭いレーザモニタやプラズマの発光測定など、高い波長分解能が必要とされるアプリケーションに最適です。
Ocean FXは、特に紫外域及び近赤外領域において高感度なCMOSリニアイメージセンサを内蔵した、小型で低価格のファイバ入力式マルチチャンネル分光器です。10μsecの短時間露光でのバッファリング機能において最大4,500スキャン/秒のデータ取得が可能なことに加えて、インタフェースには従来のUSBの他、ギガビットイーサネットとWi-Fiも選択できます。これらのマルチインタフェースにより、ユーザの使用環境や装置内設置においてセキュリティと信頼性が向上します。オンボードのバッファリング機能は、短時間でスペクトルが変化する高速取得を必要とするプロセスでの品質管理などに最適です。
Ocean HDXは、オーシャンオプティクス社のOcean FXで採用されたバッファリング機能およびマルチインタフェースを備えたプラットフォームをベースに、裏面入射型ディテクタを搭載したファイバマルチチャンネル分光器です。
QEPro分光器は、裏面入射型の2D FFT-CCDを搭載した高感度のマルチチャンネル分光器です。高速データ取得のために、最大15,000スペクトルのバッファリングが可能です。USB通信にタイムスタンプ付きのスペクトルをバッファリングすることにより、データの整合性を維持します。また低ノイズのエレクトロニクスと18bit A/Dにより、ワイドなダイナミックレンジと高感度を実現しています。

各種アクセサリも充実

オーシャンオプティクス社のVFT 真空フィードスルーは、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用アクセサリです。真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用します。
オーシャンオプティクス社の標準フランジ付真空フィードスルーは、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用アクセサリです。真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用します。本モデルは、業界基準のフランジに結合可能で、KF40 およびKF16 ISO フランジ、また2.73 インチおよび1.33 インチのコンフラットフランジの4 種類でご提供可能です。
様々な長さや構成でご利用いただける光ファイバです。真空フィードスルーと組み合わせて使用可能な真空用ファイバもご提供可能です。

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