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Mスクエアレーザー超小型CW単一周波数四倍波発生器 ECD-X-Q

カタログ/技術資料

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    レーザ

ECD-X-Q は、SolsTiS CW単一周波数自動波長可変チタンサファイア(Ti:S)レーザ、 ECD-X超小型CW単一周波数二倍波発生器を組合せることで、ハイパフォーマンス(高効率・高安定・高ビーム品質・狭線幅)のまま、波長可変Ti:Sレーザの四倍波(210~250nm)を手軽に発生させます。高出力CW深紫外レーザとして、世界的に稀有な存在感を示します。
また、EMMミキシング・モジュールの高調波発生器としても利用可能です。

SolsTiS CW単一周波数自動波長可変チタンサファイア(Ti:S)レーザ
ECD-X 超小型CW単一周波数二倍波発生器
EMM ミキシング・モジュール

特長

・単一のミラーセットがTi:Sレーザの四倍波の全領域をカバー
・モノリシック共振器設計で高安定性を確立
・最新DSPにより効率向上と強固な周波数ロックを実現し、自動でTi:Sレーザの
 周波数掃引に追随
・結晶の寿命を長らえるためのパージポートを装備
・結晶位置のシフト機能:結晶を長期間使用できるために100スポット以上を利用可能
・全ての制御はWebブラウザのGUIで操作
・SolsTiS、ECD-Xと同一ブラウザウィンドウ内で操作可能

アプリケーション

  • 波長可変深紫外光源
  • 半導体

仕様

中心波長変換効率 基本波(入力)パワー
変換効率[1] 5% >500mW
10% >1W
掃引幅 >50GHz
基本波(入力)波長域 420-500nm
可変領域  ±5nm @中心波長
[1]対象の基本波(入力)波長域は470-500nmです。>470nmの仕様はお問合せ下さい。

使用環境

動作温度 16~30℃
設置場所 光学テーブル、ダストフリー(推奨:エアクリーンユニット付きクリーンブース内設置)

関連情報

アプリケーション例
・ ケーススタディ

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