測定内容
分野
オーシャンオプティクス社のSTEP-WAFER (Si-SiO2 ５ステップウエハ、直径100mm)は、校正された膜厚範囲0-500nmのリファレンスウエハです。シリコンウエハや光学層など膜厚測定用のリファレンスとして最適です。
STEP-WAFERはシリコン上に二酸化シリコンの薄いウエハで構成されています。ウエハ表面にはそれぞれステップナンバーが記載されています。ウエハはエリプソメータで校正されており、付属の校正データシートは各ステップのXとYの位置、ψ、δ、周期(nm)、および膜厚(nm)などの情報を含んでいます。
