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オーシャンオプティクス光学式膜厚測定システム NanoCalc

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NanoCalcシリーズ 光学式膜厚測定システムは、薄膜表面および基盤の反射光からの干渉スペクトル取得により膜厚の解析を実現した、多層膜にも対応した非接触・非破壊かつ光干渉式の膜厚測定器です。ユーザの要求にあわせ、膜厚によって紫外域から近赤外域までの広帯域の波長範囲を要する場合、各種モデルからご選択が可能です。

NanoCalcは、測定サンプルに付属光源からの白色光(およびUV+白色光)を照射し、反射光を受光することで反射スペクトルを取得します。この干渉スペクトルから膜厚算出を行う本システムは、容易に各種サンプルの非接触・非破壊かつ高精度の膜厚測定が可能です。

特長

・検出器、光源内蔵で容易なセットアップ
・多層膜にも対応(10層まで)
・分光方式の採用で、非接触・非破壊および高速測定を実現
・1nm~250μmの膜厚範囲に対応した多彩なラインナップ
・ソフトウェア内蔵のデータベースにより幅広い材料に対応
・屈折率測定可能(NanoCalc-VIS、NanoCalc-XR)
・マッピング測定可能(オプション)

標準装置校正

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NanoCalc 膜厚測定システム
NanoCalc-VIS:400 - 850 nm
NanoCalc-XR:250 - 1050 nm
NanoCalc-DUV:190 - 1100 nm
NanoCalc-NIR:900 - 1700 nm
7芯反射ファイバプローブ
(6芯:照射用、1芯:受光用)
シングルポイントステージ
NanoCalcソフトウェア
NanoCalc-10-N
NanoCalc-1

アプリケーション

  • 半導体:各種シリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜
  • 光学材料:ARコート、レンズ、フィルム
  • FPD:液晶、OLED、ITO膜
  • 太陽電池分野:アモルファスシリコン、微結晶シリコン
  • 機能性フィルム:PET、ARフィルム、ハードコート
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アプリケーション

NanoCalc-VIS NanoCalc-XR NanoCalc-DUV NanoCalc-NIR
測定波長範囲 400-850nm 250-1050nm 190-1100nm 900-1700nm
測定膜厚範囲 50nm - 100μm 10nm - 100μm 1nm - 100μm 100nm - 250μm
光学波長分解能 0.1nm
再現性 0.3nm 1.0nm
測定スピード 100ms-1s
光源 ハロゲン 重水素ハロゲン ハロゲン
入射角 90°
膜層 10層まで(NanoCalc-10-N 膜厚測定ソフトウェア使用時)
4層まで(NanoCalc-1 膜厚測定ソフトウェア使用時)
屈折率測定 不可
測定モード 反射および透過
リファレンス 必要(ベア基板)
測定可能サンプル 透明もしくは半透明の薄膜
測定スポット径 200μmまたは400μm(標準仕様)、100μm(オプション)
マイクロスポット対応 可(顕微鏡使用時)
CCDカラーカメラ対応 可(顕微鏡使用時)
マッピングオプション 6インチまたは12インチ xyスキャニングステージ(オプション)
粗面サンプル対応
オンライン測定対応
真空対応
ソフトウェア NanoCalc-10-N:10層まで多層膜膜厚算出に対応(各層毎算出可、屈折率測定可能)
NanoCalc-1:4層までの単層膜厚算出に対応(各層毎の算出不可)

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