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オーシャンフォトニクス膜厚測定向け干渉スペクトル測定システム OP-FLMS-IFS

カタログ/技術資料

OP-FLMS-IFSは、小型で取り扱い簡便なFLAME-S分光器をベースに、ハロゲン光源、2分岐光ファイバ、広帯域ファイバコリメータおよび分光測定用標準ソフトウェアOPwave+を組み合わせた、膜厚測定向けの干渉スペクトル測定システムです。
取得した干渉スペクトルをユーザ自身のプログラムを用いて解析可能なシステムとなります。
またFLAME-S分光器はユーザ独自の膜厚測定システムに検出器として組込可能なコンパクトモデルです。

特長

・ 低価格・取り扱い簡便
・ コンパクト(分光器: 89×63×34 mm / 265 g)
・ 高速データ転送(1 msec)
・ 簡易接続(ハードウェア):USBバスパワー
・ 簡易設置(ソフトウェア): OPwave+
・ 膜厚、光学定数決定のための反射率測定モード
・ ソフトウェア:容易なリファレンス、ダーク取得
・ 独自の膜厚測定システムに組込可能な分光器サイズ

** 膜厚算出用スペクトル解析ソフトウェアが必要な場合、ご相談ください。

アプリケーション

  • ・ 半導体: 各種シリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜
  • ・ 光学材料: ARコート、レンズ、フィルム
  • ・ FPD: 液晶、OLED、ITO膜
  • ・ 太陽電池分野: アモルファスシリコン、微結晶シリコン
  • ・ 機能性フィルム: PET、ARフィルム、ハードコート
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測定構成例

  • ・ 分光器 FLAME-S(波長範囲:380~1000nm)
  • ・ ハロゲン光源 HL-2000-LL(消費電力:7W、色温度:2800K)
  • ・ 2分岐ファイバ QBIF200/100-UV/VIS
  • 光源側:100μWコア径、分光器側:200μmコア径
  • ・ 広帯域コリメータ BBFC-02SMA
  • 2群3枚無限遠補正レンズ、広帯域収差補正、ARコート
  • ・ 分光測定用標準ソフトウェア OPwave+
  • ・ 測定ステージ(オプション)
  • 縦型光学ベンチ、手動Z軸ステージ、αβ傾斜ステージ
  • ※ 測定ステージはご要求に応じて特注対応可能です。

【追加オプション】
  • ・ スライド型可変NDフィルタ:光量調整に最適
  • ・ 単芯マルチモードファイバφ200μm:透過構成のシステムアップも可能
  • ・ 手動XY軸ステージ:より正確なサンプルのスポット確定
  • ・ 恒温モジュール USB-TC
  • FLAME-S分光器に接続、温度を一定に保持しダークレベルの安定、
  • 波長ドリフト軽減
  • ・ 高S/N比分光器 QEPro:電子冷却CCD搭載において高いS/N比を実現
  • ・ 膜厚測定用基準ウェハ STEP-WAFER:リファレンス測定に最適
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FLAME-S分光器仕様

寸 法
サイズ 89 x 63 x 34 mm
重量 265g
ディテクタ
受光素子 2048素子リニアシリコンCCDアレイ(SONY ILX511B)
ピクセルサイズ 14 x 200 μm
光学ベンチ
デザイン f/4、ツェルニー・ターナー型
グレーティング *1 #3:350~1000 nm, 600 Lines/mm, Blazed at 500nm
入射スリット *2 25 μm
光コネクタ SMA 905(0.22 NA)
分光器部
測定波長範囲 380~1000 nm
波長分解能 1.33 nm(参考値)
S/N比 250:1(full signal時)
A/D分解能 16 bit
積算時間 1 msec. ~ 65 sec.
電子回路/インタフェース
消費電力 250 mA @ 5 VDC
PCインタフェース USB 2.0、RS-232(2-Wire)
動作ソフトウェア OPwave+(Windowst対応)
*1 ご要求測定波長範囲によってグレーティング選択が可能
*2 サンプル条件、測定条件で異なるスリット幅選択が可能

BBFC-02SMA 広帯域コリメータ

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本システム採用のコリメータは、分光器の波長範囲をカバーし、2群3枚構成の無遠源収差補正および広帯域ARコーティングにより、高い透過率、平坦な結合効率特性を実現しています。またSMAコネクタで容易にファイバ接続が可能です。
  • ・ 波長範囲:350~1100 nm
  • ・ 焦点距離:10 mm
  • ・ レンズ外径:φ9 mm
  • ・ 筐体材質:SUS303

OPwave+ 分光測定用標準ソフトウェア detail_button.gif

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*画像をクリックで拡大表示します。
  • ・簡単日本語表示
  • ・透過・吸光度・反射測定モードに対応
  • ・データ保存(text形式)、呼び出し、プリントアウト
  • ・スペクトル経時変化測定、データ保存
  • *指定波長測定、指定波長域測定、指定時間間隔測定

  • ・保存波形データの重ね書き機能
  • ・露光時間、平均化、ボックスカー設定
  • ・一時停止、手動1スキャンデータ取得
  • ・無償アップデート対応
  • ・ユーザご要望の機能追加、カスタマイズ可能(オプション)

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