測定内容
分野
オーシャンオプティクス社のVFT 真空フィードスルーは、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用アクセサリです。真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用します。
・NEMA 筐体および高圧アプリケーション内で適切に機能
・10-9Torr 真空に対応
・350℃まで対応真空度：10-10 Torr
このフランジ用のガラス-金属シールは、全てのアセンブリが350℃まで機能する事を可能にしています。各フランジは、真空度10-10Torrのテストと動作検証されています。
半導体や薄膜工程において、このフランジは実用的であると共に、環境試験、製薬の処理、および光学コーティングの製造を伴うアプリケーションにも適しています。
また、分子線エピタキシー法および化学的と物理的な蒸着法で使用する事ができ、NEMA規格筐体用、グローブボックス用、中圧設備用の多目的貫通型部品として完璧です。
両端は、SMA905コネクタとなっており、光ファイバや、オーシャンオプティクス社の分光器、アクセサリ、光源などの豊富な製品ラインナップと簡単に接続することができます。
VFT は、真空チャンバで3/8-24 の外部ネジ穴へネジ止め、あるいは提供されたナットとワッシャを使用することで、平坦な穴にボルトで締める事が可能です。
真空フィードスルーは、コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。下記の各VFT は、SMAスプライスブッシング21-02 （SMA905コネクタ（オス）同士を接続するためのをインラインで接続できるコネクタ）が付属します。
| 型番 | 説明 |
|---|---|
| VFT-200-SR | コア径200μm、耐ソラリゼーションファイバ |
| VFT-200-VIS | コア径200μm、可視-近赤外ファイバ |
| VFT-400-SR | コア径400μm、耐ソラリゼーションファイバ |
| VFT-400-VIS | コア径400μm、可視-近赤外ファイバ |
| VFT-600-SR | コア径600μm、耐ソラリゼーションファイバ |
| VFT-600-VIS | コア径600μm、可視-近赤外ファイバ |
| VFT-1000-UV | コア径1000μm、耐ソラリゼーションファイバ |
| VFT-1000-VIS | コア径1000μm、可視-近赤外ファイバ |
