分野
TITANは現場で実績を重ねて商品化した全自動化された産業用高出力ＣＷ（連続波）単一周波数（縦モード）レーザです。更に、高安定、高スペクトル純度、長い可干渉距離を有しながら信頼性も備え、紫外から可視光（UV～VIS）において、最大２Wの高出力を発生します。
用途は、フォトマスク書き込み、二光束干渉露光などの装置搭載向けで、発振波長はi線（365 nm）、ｈ線（405 nm）、ｇ線（435 nm）を含む単一光を350 nmから525 nmより選択でき、これまで主流のアルゴンやクリプトン・イオンレーザからの置き替えに最適です。
また、操作はレーザのスキルを必要としない設計です。インタフェースは様々な顧客固有のアプリケーションとスムーズに統合させ、従来よりもトータルコストの削減を実現します。
| 波長 | 指定波長選択域：350-525 nm（指定波長の±0.2 nm以内） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 出力 |
* オプション対応出力 > 2 W （400±10 nm） |
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| 強度ノイズ | < 0.1 % rms （10 Hz - 10 MHz） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 線幅 | < 200 kHz （計測時間100µs） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 周波数安定性（対温度） | < 1 GHz/℃ ：安定な基準にロックされていない装置固有の周波数安定性 < 100 MHz/℃ ：オプションの推奨波長計を組み込み時 ※ 波長計の性能により、更に高周波数安定性を提供可能なオプション有 ※ その他、周波数コムや蒸気セルなどの外部リファレンスにロックも可能 |
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| 周波数掃引（スキャン） | > 50 GHz | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出力精度 | < ± 1 % （出力に対する率） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出力安定性 | < 0.5 % rms（測定時間：24時間超、温度変動が0.25 ℃以内） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 空間モード | TEMoo | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ビーム品質 | M2 < 1.2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ビーム円形性 | 1.0 ± 0.1 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 非点収差 | < 25 % | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ビームウエスト直径 | 1.3 ± 0.2 mm（縦-横軸、FW＠1/e2点） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ビーム広がり角 | < 0.6 mrad（全角、FW＠1/e2点） |
▲ TITAN ビームプロファイル
▲ TITAN Laser: 堅牢な単一筐体内に励起レーザ,
波長可変レーザ, アクティブ出力制御機能を統合
| 周囲温度範囲 | 18 - 25 ℃ |
|---|---|
| 周囲大気圧 | 960 - 1040 mbar（80 mbarは波長計を参照しない場合、413nmで約7pmのドリフトに相当） |
| 最大相対湿度 | 80 %（結露無いこと） |
| 空調 | ダスト・フリー（埃が無い環境が望ましい） |
| 実装状態 | 光学テーブルなどに設置し、重大な機械的外乱や振動による影響のないこと |
| 筐体寸法 | 925.4 x 234.1 x 185.7 mm (L x W x H) |
| 冷却 | ラックマウント式循環式チラー付属 |
| 消費電力 | 1500 W未満（システム全体） |
| 筐体の熱発散 | 30 W |
