分野
「ECD-X-Q」はECD-X の後段にインテグレートし、CW 単一周波数発振としては世界的に稀な、深紫外光を高性能（高安定、高効率、光ビーム品質、狭線幅）で発生させるSolsTiS の第４高調波発生器です。ECD-X同様、SolsTiSの周波数掃引に追随します。
また、基本波であるSolsTiSがアライメントフリー及びメンテナンスフリー化され、第2高調波のECD-Xも自動波長可変が可能で、ユーザがECD-X-Qの調整に集中できることも大きなアドバンテージです。DUV域において結晶の寿命を延命させる機能も標準で装備します。
更に、CW 532 nm単一周波数レーザの２倍波（266 nm）も容易に発生させられます。同社製Equinoxをはじめ、市販のDPSSレーザに組み合せ可能です。
また、EMMミキシング・モジュールの高調波発生器としても利用可能です。
▶ SolsTiS CW単一周波数自動波長可変チタンサファイア（Ti:S）レーザ
▶ ECD-X 超小型CW単一周波数2倍波発生器
▶ Equinox CW高出力・CW単一周波数グリーン(532 nm)・レーザシステム
▶ EMM ミキシング・モジュール
■ 高変換効率：10% @基本波入力>1 W（420-500 nm）
■ 結晶位置のシフト機能：結晶を長期間使用できるために100 スポット以上を利用可能
■ 高いビーム品質：M2<1.3
■ インバーベースプレート上にモノリシック共振器を設計し、高安定を実現
■ 結晶交換は機械的な精度が高いため容易（光学部品の交換は結晶のみ）
■ 最新DSPによって効率向上と強固な周波数ロックを実現
■ デシカントとパージポートを標準装備（通常はパージ不要）
■ 全制御はWebブラウザのGUIで操作（励起レーザ：SolsTiS、チタンサファイアレーザ：SolsTiS、第二高調波発生器：ECD-Xを統合制御）し、LabVIEWやMATLABでオリジナルを構築可能
| 中心波長変換効率 | 入力波長パワー | |
|---|---|---|
| 変換効率 | >5% | >500mW |
| >10% | >1W | |
| 掃引幅 | >50GHz | |
| 基本波（入力）波長域* | 210～250 nm（420～500 nm） | |
| 可変領域 | ±3nm ＠中心波長 | |
| 動作温度 | 16～30℃ |
|---|---|
| 設置場所 | 光学テーブル、ダストフリー（推奨：エアクリーンユニット付きクリーンブース内設置） |
