測定内容
分野
Ocean SR4は、3648素子リニアシリコンCCDアレイディテクタを搭載した、紫外～可視～近赤外域に対応したファイバ入力型マルチチャンネル分光器です。旧機種USB4000、Flame-Tの後継機種となっており、オーシャンオプティクス社製ファイバマルチチャンネル分光器のスタンダードモデルです。
Ocean SR4は200～1050nmに対応しており、ご要望の波長範囲に合わせグレーティングを、波長分解能(FWHM)と感度に合わせ入射スリット幅をご選択頂けます。また、可変式入射スリットを採用しており、ユーザ側での入射スリットの交換が可能です。分光器の波長校正用光源、波長校正用ソフトウェア(OPwave-Cal)をご用意しておりますので、ユーザ側で波長校正作業を行うことができます。
ファイバ入力型分光器の為、ご検討のアプリケーションに合わせたシステムアップが可能です。レーザモニタ、プラズマモニタ、透過/吸光度測定、反射測定、色測定、蛍光測定、分光放射照度測定、全光束測定、等の様々なアプリケーションに対応することができます。
本装置はプラグアンドプレイで使用が可能で、専用ソフトウェアOPwave+を使用し、簡便かつ迅速にデータの取得が可能です。また、ソフトウェア開発用のドライバソフト(Ocean Direct)が付属しますので、研究開発から装置組込み(OEM)まで、幅広い用途に対応することができます。
・ファイバマルチチャンネル分光器のスタンダードモデル
・紫外～可視～近赤外域(200～1050nm)を1台の分光器でカバー
・測定内容に合わせ選べるグレーティング/入射スリット幅
・透過/反射/蛍光測定から分光放射照度、全光束測定まで、様々なアプリケーションに対応可能
・半導体製造装置におけるプラズマ発光モニタに最適
・ユーザにて交換可能な可変式入射スリットを採用
・光源、サンプルホルダ等、豊富なアクセサリオプション
・装置組込みのためのソフトウェア開発キットが付属
・ユーザによる波長校正作業が可能
| 寸法 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
サイズ
| 88.1 x 63.5 x 31.45 mm |
| ||||
| 重量 | 275 g | ||||
| ディテクタ | |||||
| 受光素子数 | 3648pixels | ||||
| 分光器部 | |||||
| 入射スリット | 5/10/25/50/100/200umより選択可能 | ||||
| 積算時間 | 3.8ms-10s | ||||
| 光コネクタ | SMA905 | ||||
| 電子回路/インタフェース | |||||
A/D分解能
| 16bit |
| ||||
コネクタ
| USB Type-C |
16pin Samtec TFM | ||||
| 動作ソフトウェア | OPwave+ | ||||
| 外部トリガ測定 | 非対応 | ||||
| SR-4UV220 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4UV220-5 | 200 | 400 | 0.42 | - | 1800 Line Holographic UV |
| SR-4UV220-10 | 200 | 400 | 0.46 | - | 1800 Line Holographic UV |
| SR-4UV220-25 | 200 | 400 | 0.60 | - | 1800 Line Holographic UV |
| SR-4UV220-50 | 200 | 400 | 0.93 | - | 1800 Line Holographic UV |
| SR-4UV220-100 | 200 | 400 | 1.68 | - | 1800 Line Holographic UV |
| SR-4UV220-200 | 200 | 400 | 3.36 | - | 1800 Line Holographic UV |
| SR-4UV240 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4UV240-5 | 200 | 530 | 0.58 | OSF | 1200 Line Holographic UV |
| SR-4UV240-10 | 200 | 530 | 0.63 | OSF | 1200 Line Holographic UV |
| SR-4UV240-25 | 200 | 530 | 0.83 | OSF | 1200 Line Holographic UV |
| SR-4UV240-50 | 200 | 530 | 1.28 | OSF | 1200 Line Holographic UV |
| SR-4UV240-100 | 200 | 530 | 2.31 | OSF | 1200 Line Holographic UV |
| SR-4UV240-200 | 200 | 530 | 4.62 | OSF | 1200 Line Holographic UV |
| SR-4UVV240 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4UVV240-5 | 200 | 850 | 1.17 | OSF | 600 lines blazed at 240 nm |
| SR-4UVV240-10 | 200 | 850 | 1.25 | OSF | 600 lines blazed at 240 nm |
| SR-4UVV240-25 | 200 | 850 | 1.65 | OSF | 600 lines blazed at 240 nm |
| SR-4UVV240-50 | 200 | 850 | 2.55 | OSF | 600 lines blazed at 240 nm |
| SR-4UVV240-100 | 200 | 850 | 4.62 | OSF | 600 lines blazed at 240 nm |
| SR-4UVV240-200 | 200 | 850 | 9.24 | OSF | 600 lines blazed at 240 nm |
| SR-4UVV300 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4UVV300-5 | 200 | 900 | 1.17 | OSF | 600 Lines Blazed at 300 nm |
| SR-4UVV300-10 | 200 | 900 | 1.25 | OSF | 600 Lines Blazed at 300 nm |
| SR-4UVV300-25 | 200 | 900 | 1.65 | OSF | 600 Lines Blazed at 300 nm |
| SR-4UVV300-50 | 200 | 900 | 2.55 | OSF | 600 Lines Blazed at 300 nm |
| SR-4UVV300-100 | 200 | 900 | 4.62 | OSF | 600 Lines Blazed at 300 nm |
| SR-4UVV300-200 | 200 | 900 | 9.24 | OSF | 600 Lines Blazed at 300 nm |
| SR-4UVV400 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4UVV400-5 | 200 | 900 | 1.17 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4UVV400-10 | 200 | 900 | 1.25 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4UVV400-25 | 200 | 900 | 1.65 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4UVV400-50 | 200 | 900 | 2.55 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4UVV400-100 | 200 | 900 | 4.62 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4UVV400-200 | 200 | 900 | 9.24 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VIS400 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4VIS400-5 | 350 | 1000 | 1.17 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VIS400-10 | 350 | 1000 | 1.25 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VIS400-25 | 350 | 1000 | 1.65 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VIS400-50 | 350 | 1000 | 2.55 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VIS400-100 | 350 | 1000 | 4.62 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VIS400-200 | 350 | 1000 | 9.24 | OSF | 600 Lines Blazed at 400 nm |
| SR-4VN500 | 波長範囲 | 波長分解能(nm) 参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4VN500-5 | 350 | 1000 | 1.17 | OSF | 600 Lines Blazed at 500 nm |
| SR-4VN500-10 | 350 | 1000 | 1.25 | OSF | 600 Lines Blazed at 500 nm |
| SR-4VN500-25 | 350 | 1000 | 1.65 | OSF | 600 Lines Blazed at 500 nm |
| SR-4VN500-50 | 350 | 1000 | 2.55 | OSF | 600 Lines Blazed at 500 nm |
| SR-4VN500-100 | 350 | 1000 | 4.62 | OSF | 600 Lines Blazed at 500 nm |
| SR-4VN500-200 | 350 | 1000 | 9.24 | OSF | 600 Lines Blazed at 500 nm |
| SR-4N1000 | 波長範囲 | 波長分解能(nm)参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4N1000-5 | 600 | 1050 | 1.17 | - | 600 Lines Blazed at 1.0 um |
| SR-4N1000-10 | 600 | 1050 | 1.25 | - | 600 Lines Blazed at 1.0 um |
| SR-4N1000-25 | 600 | 1050 | 1.65 | - | 600 Lines Blazed at 1.0 um |
| SR-4N1000-50 | 600 | 1050 | 2.55 | - | 600 Lines Blazed at 1.0 um |
| SR-4N1000-100 | 600 | 1050 | 4.62 | - | 600 Lines Blazed at 1.0 um |
| SR-4N1000-200 | 600 | 1050 | 9.24 | - | 600 Lines Blazed at 1.0 um |
| SR-4XR250 | 波長範囲 | 波長分解能(nm)参考値 | フィルタ | グレーティング | |
| SR-4XR250-5 | 200 | 1050 | 1.43 | OSF | 500 lines blazed at 250 nm |
| SR-4XR250-10 | 200 | 1050 | 1.54 | OSF | 500 lines blazed at 250 nm |
| SR-4XR250-25 | 200 | 1050 | 2.03 | OSF | 500 lines blazed at 250 nm |
| SR-4XR250-50 | 200 | 1050 | 3.13 | OSF | 500 lines blazed at 250 nm |
| SR-4XR250-100 | 200 | 1050 | 5.67 | OSF | 500 lines blazed at 250 nm |
| SR-4XR250-200 | 200 | 1050 | 11.34 | OSF | 500 lines blazed at 250 nm |
